KUKA 開發用於半導體製程的移動機器人｜半導體設備｜半導體自動化

半導體的生產非常複雜。在此之前，還未出現過可以將工件從一道工序運送到下一道工序的移動式半導體自動化生產方式。現在，有了 KUKA 晶片搬運解決方案，一切都將發生改變。

2019年8月13日

半導體隨處可見

微型智慧電腦晶片，即所謂的半導體，如今在日常生活中隨處可見：不管是在智慧手機、平板電腦還是汽車中。在汽車行業的大趨勢下，該元件至關重要。生產半導體時是以晶片形式加工化學元素矽。在生產過程中，將晶片在淨室條件下存放在專用的塑膠盒內，並分多道工序進行處理。隨著對半導體需求的不斷增長，製造商也希望進一步實現生產過程的自動化。

自動化搬運晶片：KUKA 晶片搬運解決方案

KUKA 開發的 KUKA 晶片搬運解決方案是世界上首個可用於自動運輸和搬運半導體盒的一站式解決方案。該應用由一臺標準化的自動導引運輸車 (AGV) 和經過實踐檢驗的?LBR iiwa 輕型機器人組成。為此開發了一套精密的抓手系統。軟體也由 KUKA 提供。

適用於半導體工業淨室環境下的機器人解決方案

KMR 200 CR 移動平臺確保移動性。該平臺的麥克納姆輪可朝各個方向全向行駛。平臺上的感測器即時監測周圍環境，以免發生碰撞。具有人機協作能力的 LBR iiwa 安裝在平臺上。機器人的高靈敏度有助於安全無振動地搬運敏感的晶片盒。該應用的第三個部件是量身打造的抓手。抓手系統為 KUKA 專利。

軟體控制移動機器人車隊

在用於晶片搬運的淨室應用中，硬體和軟體均來自 KUKA。晶片搬運軟體解決方案可無縫整合到半導體製造商的製造執行系統中。整合在軟體中的車隊管理器負責管控運輸任務，以此確保理想的半導體自動化生產。所有解決方案均由 KUKA 提供並經過認證。由此可以大幅縮短調試時間，從而使該系統成為市場上最為靈活的搬運系統。